ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台 h-TDIシリーズh-TDI，h-TDIS

ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台の特徴

防振部
空気ばねは防振台を構成する最も基幹となる部品です。ヘルツは、会社創業以来、独自に開発した「精密空気ばね」を使用しています。防振能力は過去の多数の納入使用実績によってお客様の信頼をいただいています。 垂直方向の防振を主とする精密空気ばねと関連して水平方向の防振は360度の自由度を持つ構造により 、「三次元6自由度の防振」を可能にしています。

ハニカムベンチ
ベンチ上面は、無塗装でタップM6・25mmXYが標準加工され、機器の固定に役立つ仕様になっています。また、ハイダンピング機構を装着して空気ばねで防振できない振動や空中から伝播する音響の影響など外乱条件によって生じたベンチの変位を最小限にするなど、ナノテクノロジー時代に求められる大きな付加価値を持っています。

防振架台
空気ばねを介してハニカムベンチと搭載機器を支持するためにしっかりした剛性の高い構造になっています。防振架台にも、ハイダンピング機構を装着して、ダンピング強化をはかっています。

ハニカムベンチの水平維持
ハニカムベンチ上の搭載機器の荷重分布によって生じた傾きは、3ケの「メカニカルオートレベルセンサ」の働きで、ハニカムベンチの水平を維持することができます。（別途、空気源が必要です。）

ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台のダンピング効果測定例

ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線
下記データは、アルミハニカムベンチの「ハイダンピング機構」を装着する前と装着後のダンピング状態をコンプライアンスデータによって、一定の力に対する変位の周波数ごとに減衰している状態を表わしています。また、加速度の減衰状態は時間で表わしています。

ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線

 
・「ハイダンピング機構」無し/使用ベンチ:HA‐2010（左側）　・「ハイダンピング機構」有り/使用ベンチ:h‐HA‐2010（右側）

ハイダンピングアルミハニカムベンチの加速度減衰データ

 
・「ハイダンピング機構」無し/使用ベンチ:HA‐2010（左側）　・「ハイダンピング機構」有り/使用ベンチ:h‐HA‐2010（右側）

空気ばね式防振架台・時間軸減衰データ
下のデータは、防振架台の最も弱い部分に「ハイダンピング機構」を装着し外部から衝撃を与えてダンピング効果を表しました。このダンピング性能は瞬時に衝撃によって発生した「力」を減衰しています。

使用防振架台:h-TDI-2010LA

・「ハイダンピング機構」無し（左側）　・「ハイダンピング機構」有り（右側）

 

ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台 h-TDI，h-TDISの仕様

<共通仕様>

＜個別仕様＞

（１）ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台（アルミハニカム定盤仕様）

（２）ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台（スチールハニカム定盤仕様）

オプション

• コンプレッサー
  • オートレベル式の防振台をご使用いただくためには圧力源が必要になります。
• ハイマウンテッドシェルフ
  • 防振台の上のスペースを有効活用するためのハイマウンテッドシェルフをご用意しております。

図面ダウンロード

カタログダウンロード