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ハイダンピング空気ばね式防振台 h-HOAシリーズh-HOA,h-HOS

写真:h-HOA-107LA

「ハイダンピング空気ばね式防振台」は、HOA型大形空気ばね式防振台に、ヘルツ独自の制振技術を組み込み、ナノテクノロジーの時代に適した、現在そして次代を担う高防振性と高機能性を備えた次世代型の防振台です。

ナノテクノロジーに関連する超微細加工機や高分解能測定評価機器は、空気ばねの防振力だけでは満足できないレベルになってきています。測定障害として振動が直接の増加原因となる場合と空気中を伝播する音響によって増加する変位は、ベンチや防振架台に影響を与え防振性能を悪化させます。制振技術はナノメートルレベルの分解能を必要とする機器には欠かすことのできない技術となっています。

ハイダンピング空気ばね式防振台の特徴

防振部
空気ばねは防振台を構成する最も基幹となる部品です。ヘルツは、会社創業以来、独自に開発した「精密空気ばね」を使用しています。防振能力は過去の多数の納入使用実績によってお客様の信頼をいただいています。

ハニカムベンチ
ベンチ上面は、無塗装でタップM6・25mmXYが標準加工され、機器の固定に役立つ仕様になっています。また、ハイダンピング機構を装着して空気ばねで防振できない振動や空中から伝播する音響の影響など外乱条件によって生じたベンチの変位を最小限にするなど、ナノテクノロジー時代に求められる大きな付加価値を持っています。

防振架台
空気ばねを介してハニカムベンチと搭載機器を支持するためにしっかりした剛性の高い構造になっています。防振架台にも、ハイダンピング機構を装着して、ダンピング強化をはかっています。

ハニカムベンチの水平維持
ハニカムベンチ上の搭載機器の荷重分布によって生じた傾きは、3ケの「メカニカルオートレベルセンサ」の働きで、ハニカムベンチの水平を維持することができます。(別途、空気源が必要です。)

ハイダンピング空気ばね式防振台のダンピング効果測定例

ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線
下記データは、アルミハニカムベンチの「ハイダンピング機構」を装着する前と装着後のダンピング状態をコンプライアンスデータによって、一定の力に対する変位の周波数ごとに減衰している状態を表わしています。また、加速度の減衰状態は時間で表わしています。

ハイダンピングアルミハニカムベンチのコンプライアンス曲線

p005-2-1.jpg

・「ハイダンピング機構」無し/使用ベンチ:HA‐2010(左側) ・「ハイダンピング機構」有り/使用ベンチ:h‐HA‐2010(右側)

ハイダンピングアルミハニカムベンチの加速度減衰データ

p005-2-2.jpg

・「ハイダンピング機構」無し/使用ベンチ:HA‐2010(左側) ・「ハイダンピング機構」有り/使用ベンチ:h‐HA‐2010(右側)

空気ばね式防振架台・時間軸減衰データ
下のデータは、防振架台の最も弱い部分に「ハイダンピング機構」を装着し外部から衝撃を与えてダンピング効果を表しました。このダンピング性能は瞬時に衝撃によって発生した「力」を減衰しています。

使用防振架台:h-TDI-2010LA

p005-2-3.jpg

・「ハイダンピング機構」無し(左側) ・「ハイダンピング機構」有り(右側)

ハイダンピング空気ばね式防振台 h-HOA,h-HOSの仕様

<共通仕様>

(1)型式 h-HOA-107LA~h-HOA-6015LA(個別仕様ご参照)
(2)型式 h-HOS-107LA~h-HOS-6015LA(個別仕様ご参照)
防振方式 垂直方向:ヘルツ精密免震防振空気ばね
制振方式 垂直方向:オリフィスによるエアーダンピング
ハニカムベンチ:高機能ダンピングシステム採用
防振架 台(脚部):高機能ダンピングシステム採用
固有振動数 垂直方向:約1.3Hz
水平維持方式 メカニカルオートレベルセンサ 3ケによる
エアー供給方式 別途空気源によるエアー供給方式
必要空気圧 0.3~0.7MPa(3~7kgf/cm²)
※ハンドポンプを使用した手動エアー供給方式(形式の末尾はLM)があり ます。水平維持は給排気弁の操作により行います。
ベンチ材質 上面板材:着磁性ステンレス鋼板5t  下面板材:熱間圧延軟鋼板4.5t  ※非磁性 ステンレス鋼板使用可
ハニカムコア材質 (1) h-HOA ・・・アルミハニカムコア使用
(2)h-HOS ・・・スチールハニカムコア使用
※(3)非磁性ス テンレスハニカムコアの製作可
ベンチ上面仕上 タップM6 25mmマトリックスに標準加工 表面:無塗装梨地仕上げ(※黒色塗装仕上げは有料)
※上記標準以外のタップ加工は別途お見積もり致します。


<個別仕様>

(1)ハイダンピング大型空気ばね式防振台(アルミハニカム定盤仕様)

定盤サイズ 型式 空気バネ数 本体重量 搭載可能重量 全高(mm)

本体価格

(税別)

幅(mm) 奥行(mm) 厚さ(mm)
1000 700 100 h-HOA-107LA 4 200㎏ 150㎏ 750 お 問合せ
1200 700 100 h-HOA-127LA 4 250㎏ 200㎏ 750
900 100 h-HOA-129LA 4 275㎏ 200㎏ 750
1500 1000 150 h-HOA-1510LA 4 360㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOA-1512LA 4 480㎏ 300㎏ 800
1800 900 150 h-HOA-189LA 4 455㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOA-1812LA 4 515㎏ 300㎏ 800
2000 1000 150 h-HOA-2010LA 4 500㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOA-2012LA 4 555㎏ 300㎏ 800
2400 1200 250 h-HOA-2412LA 4 670㎏ 500㎏ 800
2600 1500 250 h-HOA-2615LA 4 890㎏ 500㎏ 800
3000 1200 330 h-HOA-3012LA 4 945㎏ 500㎏ 800
1500 330 h-HOA-3015LA 4 1,040㎏ 500㎏ 800
3500 1500 330 h-HOA-3515LA 6 1,305㎏ 500㎏ 800
4000 1500 400 h-HOA-4015LA 6 1,420㎏ 500㎏ 800
6000 1500 400 h-HOA-6015LA 6 2,005㎏ 1,000㎏ 800

 

(2)超高性能三次元空気ばね式防振台(スチールハニカム定盤仕様)

定盤サイズ 型式 空気バネ数 本体重量 搭載可能重量 全高(mm)

本体価格

(税別)

幅(mm) 奥行(mm) 厚さ(mm)
1000 700 100 h-HOS-107LA 4 200㎏ 150㎏ 750 お 問合せ
1200 700 100 h-HOS-127LA 4 260㎏ 200㎏ 750
900 100 h-HOS-129LA 4 285㎏ 200㎏ 750
1500 1000 150 h-HOS-1510LA 4 385㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOS-1512LA 4 505㎏ 300㎏ 800
1800 900 150 h-HOS-189LA 4 480㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOS-1812LA 4 550㎏ 300㎏ 800
2000 1000 150 h-HOS-2010LA 4 535㎏ 300㎏ 800
1200 150 h-HOS-2012LA 4 590㎏ 300㎏ 800
2400 1200 250 h-HOS-2412LA 4 765㎏ 500㎏ 800
2600 1500 250 h-HOS-2615LA 4 1,005㎏ 500㎏ 800
3000 1200 330 h-HOS-3012LA 4 1,080㎏ 500㎏ 800
1500 330 h-HOS-3015LA 4 1,220㎏ 500㎏ 800
3500 1500 330 h-HOS-3515LA 6 1,505㎏ 500㎏ 800
4000 1500 400 h-HOS-4015LA 6 1,690㎏ 500㎏ 800
6000 1500 400 h-HOS-6015LA 6 2,405㎏ 1,000㎏ 800
※ナノテーブルは当社の登録商標です。
※性能および機能の改善向上のために予告なく 、記載の仕様を変更することがあります。
※上記仕様に限らず、ヘルツはお客様のご要望に応じ様々な形状の 防振台を製作致します 。
※詳細寸法については、図面をご確認下さい。

オプション

  • コンプレッサー
    • オートレベル式の防振台をご使用いただくためには圧力源が必要になります。
  • ハイマウンテッドシェルフ
    • 防振台の上のスペースを有効活用するためのハイマウンテッドシェルフをご用意しております。

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