Q&A

防振台に関するQ&A

アクティブ防振台の使用例が増えてきているようですが、パッシブ防振台と比べてメリットは何ですか?

アクティブ防振台は、パッシブ防振台のような固有振動数付近の振動にも制御をかけるため、大きな共振はありません。その結果10Hz以下の低い周波数域の防振効果が高くなります。また、弊社のアクティブ防振台は空気を使わないため、搭載装置を操作したときやステージが動いた時の揺れが瞬時に収まります。(ステージの重量や速度等により異なります。)
詳しくは、ナノテク時代の振動対策技術資料をご覧下さい。