研究開発用大型アクティブ微小振動制御システム（アクティブ除振台） h-AVIシリーズh-AVI

写真：h-AVI-3015L

（AVIシリ―ズは、アクティブユニットとハニカムベンチおよび高剛性架台の組み合わせにより、低周波領域から高周波領域の振動効果的に防振し最適な測定環境を構築することができます。
真空中原子間力顕微鏡、非接触表面形状測定機、レ－ザ－干渉計、大出力レ－ザ－の開発など、超高分解能機器にとって最適な測定環境を提供いたします。
搭載盤サイズ10種類を標準化しています。規格以外のご必要なサイズの設計・製作も致します。

研究開発用大形アクティブ微小振動制御システムの特徴

・空気ばねを使用していないため、圧力源は不要です。

・ユニットは床上または架台上に設置することが出来ます。

・搭載機器を所定の位置に固定した後にパラメ－タの調整を行います。

・BNCコネクタから出力される波形をオシロスコープで確認することで、システムが正常に動作していることを目視により確認出来ます。

・防振ユニットは4台とコントローラ1台で1システムです。

・防振ユニットは、それぞれが独立しているために任意の間隔で使用できます。

防振性能について

振動伝達率の一例
約1Hzから約200Hzまではアクティブ防振、約200Hz以上はパッシブ防振を行います。
※アクティブ・パッシブの違いは技術資料をご参照ください。

空気ばねを使用している防振台では防振することの難しい低周波振動も、アクティブによる振動制御により高い防振効果が期待できます。
※1200kg搭載時の実測データ（保証値ではありません。）

写真：Active Nano Table AVI-1500

アルミハニカムベンチのハイダンピング効果の例(HA-2010)
AVI-1500には制振性の高いハイダンピング仕様のハニカムベンチを使用します。ハイダンピングはベンチの共振を最小限に抑え、アクティブの高い防振効果を強力にサポートします。

・防振前のイメージ図（左側）・防振後のイメージ図（右側）

制作例

h-AVI-2412(床設置型)
h-AVI-2412は搭載機器の形状や操作性を考慮してアクティブ防振ユニットを直接床に設置します。

h-AVI-3015L
h-AVI-3015Lは、床設置型のアクティブ微小振動制御システムを高剛性架台に搭載し、床から高剛性ハニカムベンチの機器設置面までの高さの調整はレベリングボルトを手動で行います。800mmが一般的高さです。

AVI-129SL
AVI-129SLは、門を備えた大型三次元表面形状測定器を搭載するために設置面精度の良い石定盤を使用しています。

仕様表

アクティブ微小振動制御システム部

形式h-AVI	2412/ 2412L	3012/ 3012L	3015/ 3015L	3016/ 3016L	4016W/ 4016LW	6016W/ 6016LW
防振部機構	コントロ－ラ(1台) 防振ユニット(4台)				コントロ－ラ(2台) 防振ユニット(8台)
アクティブ制御範囲	約1Hz～200Hz
パッシブ制御範囲	200Hz～
使用環境の調整	要ゲイン調整
防振状態の確認	1.コントロ－ラ正面の１個のＬＥＤランプ点灯または消灯による表示 2.コントロ－ラ背面のＢＮＣコネクタからオシロスコ－プに接続、画面による確認
コントロ-ラ寸法	300×200×160H
防振ユニット寸法	284×284×202H(突起部含まず)
ユニット重量	約104Kg(1ユニットは約26Kg)
搭載可能重量*1	960Kg (均等)	800Kg (均等)	700Kg (均等)	670Kg (均等)	380Kg (均等)	1,250Kg (均等)
搭載可能重量*2	850Kg (均等)	600Kg (均等)	450Kg (均等)	400Kg (均等)	1,400Kg (均等)	900Kg (均等)
電源電圧	100VAC 50-60Hz
電力消費量	20W(通常)、200W(最大)
使用温度範囲	10℃-35℃
使用湿度範囲	15～85%(結露は避けて下さい)

テーブル部

形式h-AVI	2412/ 2412L	3012/ 3012L	3015/ 3015L	3016/ 3016L	4016W/ 4016LW	6016W/ 6016LW
ベンチサイズ	2400×1200 ×250T	3000×1200 ×330T	3000×1500 ×330T	3000×1600 ×330T	4000×1600 ×400T	6000×1600 ×400T
ハニカムコア材質	*3.アルミ製または4.スチ－ル製
ベンチ上下面材質	上面：着磁性ステンレス鋼板 5t 下面：熱間圧延鋼板 4.5t(黒色吹きつけ塗装
タップ加工	M6・25mmXY (シ－ルドタップご希望の場合は加工いたします。)
ベンチ制振処理	へルツオリジナルハイダンピングシステム
外観寸法	2400×1200 ×800H	3000×1200 ×800H	3000×1500 ×800H	3000×1600 ×800H	4000×1600 ×800H	6000×1600 ×800H
テ－ブル重量*3	390Kg	550Kg	640Kg	675Kg	970Kg	1,460Kg
テ－ブル重量*4	500Kg	730Kg	900Kg	950Kg	1,280Kg	1,795Kg
架台制振処理	架台の脚部およびタイバ－内部に制振処置
本体水平維持	4本脚底部のレベリングボルト (ネジ部分はM64使用受座付き)による(床設置型を除く)
本体移動	本体脚部またはタイバ－に装着したキャスタ－4個による(床設置型は除く)

※本アクティブ微小振動制御システムを構成する各部品は生産ライン向けに製作しておりません。研究開発用としてご使用ください。
※*1は、アルミハニカムテ－ブル使用時の均等搭載可能重量です。
*2は、スチ－ルハニカムテ－ブル使用時の均等搭載可能重量です。
*3は、アルミハニカムテ－ブルの重量です。
*4は、スチ－ルハニカムテ－ブルの重量です。
※アルミハニカムテ－ブルを使用した6016サイズの場合、アクティブ防振ユニットは4台です。サイズの後の〝W〟はアクティブ微小振動制御システムを2セット使用します。〝W〟型は近日発売予定です。ただし、軽量アルミハニカムベンチを使用している4016/4016Lは1セットでご使用いただけます。(搭載重量にご注意ください。)
※本カタログの記載内容は性能・機能向上にともない、予告なく変更いたしますのでご了承ください。
※その他特注も可能です。詳細は打合せが必要です。